용어검색/반도체결함 리뷰Defect review팩별 설명반도체 공정 L1반도체 수율·불량 L1반도체 계측·검사 L1반도체 공정 L2반도체 계측·검사 L2결함 리뷰는 검사에서 찾은 후보를 더 상세히 관찰하여 형태와 종류를 확인하는 활동이다.정의 복사관련 학습 ↓설명광학 확대나 전자현미경 등을 사용하며 모든 후보를 같은 깊이로 볼 수 없어 표본 선정이 중요하다.예시작은 후보만 제외하고 큰 입자만 리뷰하면 실제 불량에 중요한 미세 브리지를 놓칠 수 있다. 위치·크기·신호군을 나누어 대표성을 확보한다.구분리뷰 결과는 무엇을 골라 보았는지와 함께 해석한다.함께 배우는 용어수율↗수율은 정해진 평가 대상 중 정해진 합격 기준을 만족한 대상의 비율이다.결함↗결함은 재료·형상·구조 등이 의도한 상태에서 벗어난 국소적 이상이다.불량 판정↗불량 판정은 제품이나 공정 결과가 정해진 요구사항을 만족하지 못했다는 판단이다.이전 용어← 전기 테스트다음 용어관심 결함 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개