결함 밀도
Defect density
결함 밀도는 정해진 검사 면적당 검출·분류된 결함의 수이다.
설명
면적이 다른 검사 결과를 비교할 때 단순 개수보다 유용하다. 검출 조건과 결함 분류가 같아야 비교가 의미 있으며 모든 결함이 불량을 일으키는 것은 아니다.
예시
동일 조건으로 검사한 20 cm²에서 결함 10개이면 밀도는 0.5개/cm²이다. 다른 검사 면적의 개수와 비교할 때 같은 단위와 분류 기준을 적용한다.
구분
결함 수를 면적과 검출 조건으로 정규화한 뒤 전기적 영향과 연결한다.