게이트 스택
Gate stack
게이트 스택은 을 제어하는 게이트 절연층과 전극 등 여러 층이 겹친 구조이다.
설명
절연층은 누설을 억제하면서 전기장을 전달하고, 전극은 게이트 전압을 공급한다. 각 층의 재료·두께·계면 상태가 함께 소자 특성을 결정한다.
예시
막 두께가 목표에 맞아도 절연층에 결함이 있으면 전류가 새거나 오래 사용한 뒤 특성이 달라질 수 있다. 두께 측정과 전기적 품질 확인은 서로 대신할 수 없다.
구분
게이트 스택은 층별 사양뿐 아니라 층과 층의 경계까지 관리한다.