합리적 부분군
Rational subgroup
합리적 부분군은 조사 목적에 맞게 비슷한 조건의 관측값을 묶어 내부 변동과 그룹 간 변화를 구분하도록 한 집단이다.
설명
같은 웨이퍼의 반복 측정과 서로 다른 웨이퍼는 서로 다른 변동을 나타낸다. 묶는 방식이 표준편차와 의 의미를 바꾼다.
예시
웨이퍼 내 변동이 작은데 웨이퍼 간 차이가 크면 같은 위치 반복만으로 공정을 평가하면 안 된다.
구분
판단하려는 변동 수준에 맞춰 표본 구조를 정한다.
Rational subgroup
합리적 부분군은 조사 목적에 맞게 비슷한 조건의 관측값을 묶어 내부 변동과 그룹 간 변화를 구분하도록 한 집단이다.
같은 웨이퍼의 반복 측정과 서로 다른 웨이퍼는 서로 다른 변동을 나타낸다. 묶는 방식이 표준편차와 의 의미를 바꾼다.
웨이퍼 내 변동이 작은데 웨이퍼 간 차이가 크면 같은 위치 반복만으로 공정을 평가하면 안 된다.
판단하려는 변동 수준에 맞춰 표본 구조를 정한다.