Deal–Grove 모델
Deal–Grove model
Deal-Grove 모델
Deal–Grove 모델은 평탄한 실리콘의 성장을 계면 반응과 산화막 내부 확산으로 근사하는 모델이다.
설명
대표식은 x²+Ax=B(t+τ)이며 x는 두께, A·B는 조건별 계수, τ는 초기막을 반영하는 시간 보정이다. 매우 얇은 막과 복잡한 응력 상태에는 그대로 맞지 않을 수 있다.
예시
재료·온도·분위기가 달라지면 계수를 다시 검토해야 한다. 모델의 깔끔한 곡선이 모든 실측을 보장하지 않는다.
구분
모델의 가정과 적용 범위를 먼저 확인하고 실측 잔차를 본다.