개구수(NA)
Numerical Aperture
Numerical Aperture (NA)개구수NA
광학계가 빛을 모으는 능력을 나타내는 값. 리소그래피에서는 NA가 클수록 같은 조건에서 더 작은 을 구분하는 데 유리하다.
회로 설계가 웨이퍼 위에 선·공간·구조 형태로 구현된 미세 형상.
용어 상세 ↗설명
NA는 과 함께 리소그래피 해상도를 좌우하는 핵심 광학 변수다.
빛의 한 주기에서 다음 주기까지의 공간적 길이. 리소그래피에서는 파장이 짧을수록 더 작은 패턴을 구분하는 데 유리하다.
용어 상세 ↗예시
고개구수(High-NA) 는 기존 EUV보다 더 높은 NA를 사용해 더 작은 을 인쇄하는 방향으로 발전한다.
관련 용어: /
약 13.5 nm 파장의 극자외선(EUV)을 사용하는 고해상도 리소그래피 기술.
용어 상세 ↗회로 설계가 웨이퍼 위에 선·공간·구조 형태로 구현된 미세 형상.
용어 상세 ↗서로 가까운 미세 패턴을 구분해 원하는 형태로 웨이퍼에 인쇄할 수 있는 리소그래피 시스템의 능력.
용어 상세 ↗웨이퍼 높이나 초점이 조금 변해도 허용 가능한 이미징 품질을 유지할 수 있는 초점 방향의 여유 범위.
용어 상세 ↗구분
NA가 커지면 에는 유리하지만 등 다른 이미징 상충 관계도 함께 고려해야 한다.
서로 가까운 미세 패턴을 구분해 원하는 형태로 웨이퍼에 인쇄할 수 있는 리소그래피 시스템의 능력.
용어 상세 ↗웨이퍼 높이나 초점이 조금 변해도 허용 가능한 이미징 품질을 유지할 수 있는 초점 방향의 여유 범위.
용어 상세 ↗