노광 해상도

특정 반도체 기술 세대에서 트랜지스터·배선 구조와 이를 만드는 공정 규칙·단계를 묶어 부르는 기술 플랫폼.

빛의 한 주기에서 다음 주기까지의 공간적 길이. 리소그래피에서는 파장이 짧을수록 더 작은 패턴을 구분하는 데 유리하다.

광학계가 빛을 모으는 능력을 나타내는 값. 리소그래피에서는 NA가 클수록 같은 조건에서 더 작은 패턴을 구분하는 데 유리하다.

회로 설계가 웨이퍼 위에 선·공간·구조 형태로 구현된 미세 형상.

반도체 패턴에서 성능과 공정 허용오차에 중요해 관리되는 선폭·간격 같은 핵심 치수.

반도체 패턴에서 성능과 공정 허용오차에 중요해 관리되는 선폭·간격 같은 핵심 치수.

회로 설계가 웨이퍼 위에 선·공간·구조 형태로 구현된 미세 형상.