검사 레시피
Inspection recipe
검사 레시피는 ·광학 조건·비교 방법· 등 실행 조건의 묶음이다.
설명
공정 레시피가 제품을 만드는 조건이라면 검사 레시피는 제품을 관찰하는 조건이다. 서로 다른 버전의 결과를 비교할 때 변경 내용을 확인한다.
예시
제조 조건이 같아도 검사 민감도가 높아지면 후보 수가 늘 수 있다. 기준 시료를 같은 조건으로 재평가하여 관측 변화와 공정 변화를 나눈다.
구분
제품을 바꾼 것인지 보는 방법을 바꾼 것인지 먼저 확인한다.