설명
취약 패턴에 집중하면 제한된 시간에 중요한 정보를 얻을 수 있다. 제외 영역에서 이 없었다고 주장할 수는 없다.
결함은 재료·형상·구조 등이 의도한 상태에서 벗어난 국소적 이상이다.
용어 상세 ↗예시
다이 중앙만 검사해 가장자리 손상을 놓쳤다면 중앙의 낮은 로 전체를 대표할 수 없다.
결함밀도는 정의한 면적에서 센 결함 수를 그 면적으로 나눈 값이다.
용어 상세 ↗웨이퍼는 여러 개의 반도체 다이를 한꺼번에 만드는 얇은 기판이다.
용어 상세 ↗구분
검사 결과에는 본 영역과 보지 않은 영역을 구분해 남긴다.