용어검색/반도체인터록Interlock팩별 설명반도체 장비 L1Fab 자동화·MES L1인터록은 특정 조건이 충족되지 않으면 동작이나 진행을 제한하도록 구성한 보호·연동 기능이다.정의 복사관련 학습 ↓설명생산관리상의 진행 제한과 장비 안전 관련 인터록은 목적과 구현이 다를 수 있다. 안전 기능은 승인된 현장 절차를 따른다.예시상위 시스템에서 시작을 허가해도 장비 인터록이 만족되지 않으면 동작이 거부될 수 있다.구분자동화를 위해 인터록을 무시하거나 우회하는 방법을 선택하지 않는다.함께 배우는 용어lot↗lot은 정해진 생산·추적 규칙에 따라 함께 관리하는 제조 대상의 묶음이다.recipe↗recipe는 설비에서 작업을 수행할 때 적용하는 처리 순서와 설정 조건을 묶은 실행 기준이다.설비 상태↗설비 상태는 장비가 생산·대기·정비 등 어떤 운영 상태에 있는지 나타내는 정보다.이전 용어← 설비군다음 용어작업 자원 예약 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개