설명
같은 그룹 안의 장비라도 제품별 승인·기능·성능· 호환성은 다를 수 있다.
recipe는 설비에서 작업을 수행할 때 적용하는 처리 순서와 설정 조건을 묶은 실행 기준이다.
용어 상세 ↗예시
증착 설비군에 속한다는 이유만으로 모든 증착 을 어느 장비에나 보낼 수 있는 것은 아니다.
lot은 정해진 생산·추적 규칙에 따라 함께 관리하는 제조 대상의 묶음이다.
용어 상세 ↗구분
그룹은 후보를 찾는 단서이고 최종 자격 확인을 대신하지 않는다.