용어검색/반도체계측Metrology팩별 설명반도체 수율·불량 L1Fab 자동화·MES L2계측은 선폭·막두께·정렬 오차 같은 물리량을 정해진 방법과 단위로 측정하는 활동이다.정의 복사관련 학습 ↓설명값과 분포를 통해 공정이 목표 범위를 유지하는지 판단한다. 값의 신뢰성에는 측정 위치, 방법, 교정 상태가 영향을 준다.신뢰성신뢰성은 정해진 사용 조건과 기간 동안 필요한 기능을 유지하는 성질이다.용어 상세 ↗예시평균 선폭이 목표여도 일부 위치가 크게 벗어나면 연결 불량 위험이 남을 수 있다. 평균뿐 아니라 위치별 값과 산포를 함께 본다.구분계측은 얼마만큼 다른지를 수치로 보여준다.함께 배우는 용어신뢰성↗신뢰성은 정해진 사용 조건과 기간 동안 필요한 기능을 유지하는 성질이다.수율↗수율은 정해진 평가 대상 중 정해진 합격 기준을 만족한 대상의 비율이다.결함↗결함은 재료·형상·구조 등이 의도한 상태에서 벗어난 국소적 이상이다.이전 용어← 결함 검사다음 용어전기 테스트 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개