관측 결함밀도
Observed defect density
관측 는 검사 장비와 설정이 실제로 검출한 을 기준으로 구한 밀도다.
설명
검출하지 못한 과 에 무관한 신호가 섞일 수 있어 실제 치명적 와 같다고 단정할 수 없다.
예시
설정을 바꾼 뒤 검출 수가 두 배가 되어도 공정 이 두 배 증가했다고 바로 말할 수 없다. 동일 시료의 전후 검사를 비교한다.
구분
공정 변화와 관측 능력 변화를 분리한다.
Observed defect density
관측 는 검사 장비와 설정이 실제로 검출한 을 기준으로 구한 밀도다.
검출하지 못한 과 에 무관한 신호가 섞일 수 있어 실제 치명적 와 같다고 단정할 수 없다.
설정을 바꾼 뒤 검출 수가 두 배가 되어도 공정 이 두 배 증가했다고 바로 말할 수 없다. 동일 시료의 전후 검사를 비교한다.
공정 변화와 관측 능력 변화를 분리한다.