입자 오염
Particle contamination
입자 오염은 의도하지 않은 고체 입자가 나 관련 표면에 존재하는 상태다.
설명
입자는 패턴을 가리거나 막 형성을 방해하고 좁은 연결을 잇는 등 여러 방식으로 영향을 줄 수 있다. 재료와 위치에 따라 치명도가 달라진다.
예시
같은 입자라도 노광 전에는 패턴 전사를 방해하고 연결 공정 뒤에는 후보가 될 수 있다.
구분
입자는 발생 공정과 이후 공정까지 연결해 해석한다.
Particle contamination
입자 오염은 의도하지 않은 고체 입자가 나 관련 표면에 존재하는 상태다.
입자는 패턴을 가리거나 막 형성을 방해하고 좁은 연결을 잇는 등 여러 방식으로 영향을 줄 수 있다. 재료와 위치에 따라 치명도가 달라진다.
같은 입자라도 노광 전에는 패턴 전사를 방해하고 연결 공정 뒤에는 후보가 될 수 있다.
입자는 발생 공정과 이후 공정까지 연결해 해석한다.