파티클 제거율의 한계
Particle removal efficiency
PRE
파티클 제거율은 동일한 검사 조건에서 처리 전 입자 수 대비 감소 비율로 계산하는 지표다.
설명
가상 처리 전 200개, 후 20개이면 (200−20)/200×100=90%다. 새로 발생한 입자와 검출 한계·위치 일치 문제를 함께 고려해야 한다.
예시
90%라는 숫자만으로 잔류 20개가 허용되는지 또는 막 손상이 없는지 판단할 수 없다. 크기·위치·치명도와 손상 지표를 함께 본다.
구분
제거율은 성능의 한 축이지 제품 합격의 단독 기준이 아니다.