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반복 필드 패턴

Repeating field pattern

반복 필드 패턴은 노광 필드나 반복 회로의 같은 상대 위치에서 이상이 되풀이되는 특징이다.

설명

마스크·설계 취약성·반복 공정 조건을 조사하는 단서다. 절대 좌표와 필드 안의 상대 좌표를 모두 본다.

웨이퍼

웨이퍼는 여러 개의 반도체 다이를 한꺼번에 만드는 얇은 기판이다.

전체에서는 흩어져 보여도 각 필드의 같은 모서리에 모이면 반복 형상과 연결된 가설이 강해진다.

웨이퍼

웨이퍼는 여러 개의 반도체 다이를 한꺼번에 만드는 얇은 기판이다.

좌표 관점을 바꾸면 숨어 있던 이 드러난다.

반복성

반복성은 같은 조건에서 같은 대상을 반복 측정할 때 결과가 서로 가까운 정도다.

웨이퍼는 여러 개의 반도체 다이를 한꺼번에 만드는 얇은 기판이다.

반복성은 같은 조건에서 같은 대상을 반복 측정할 때 결과가 서로 가까운 정도다.

고장 모드는 기능이나 성능이 어떤 모습으로 요구사항을 충족하지 못하는지를 나타낸다.