잔류가스 분석
Residual gas analysis
RGA
잔류가스 분석은 질량 대 전하 비에 따른 신호로 진공 안의 가스 성분을 추정하는 방법이다.
설명
RGA는 총압에 숨은 성분 변화를 볼 수 있지만 서로 다른 분자가 같은 질량 신호를 만들거나 분해 조각을 남길 수 있다. 감도·배경·이온화 조건도 영향을 준다.
예시
질량수 28 부근 신호를 곧바로 질소 누설로 단정하지 않는다. 일산화탄소 등 다른 기여와 관련 피크, 시간 응답, 검사 맥락을 함께 봐야 한다.
구분
한 피크와 한 분자를 일대일로 고정하지 않는다.