조건별 민감도 비교
Sensitivity matching
민감도
조건별 민감도 비교는 입력을 조금 바꿨을 때 두 챔버의 결과 변화 방향과 크기가 비슷한지 확인하는 것이다.
설명
현재 목표점에서 결과가 같아도 반응 기울기가 다르면 다음 제품이나 작은 입력 변동에서 차이가 벌어질 수 있다. 일치보다 공정창 주변의 응답이 더 중요할 때가 있다.
예시
승인된 평가 범위에서 온도·유량 등에 대한 반응을 비교한다. 한 챔버만 온도 변화에 크게 반응하면 열전달이나 지배 메커니즘 차이를 검토한다.
구분
한 점에서의 매칭과 응답 특성의 매칭은 구분한다.