소프트베이크·예비건조
Soft Bake / Prebake
Soft Bake
포토레지스트 코팅 뒤 레지스트에 남은 용제를 줄이고 막을 안정화해 이후 과 취급이 가능하도록 하는 저강도 베이크 단계.
설명
소프트베이크가 너무 부족하거나 과도하면 레지스트 특성에 영향을 줄 수 있지만 이 팩에서는 목적과 위치만 학습한다.
예시
후 소프트베이크를 거쳐 막을 안정시킨 뒤 단계로 이동한다. 관련 용어: 스핀 코팅 / 포토레지스트(PR) / 노광
구분
소프트베이크는 코팅 후 베이크이고 후 베이크와는 공정 위치와 목적이 다르다.