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정반사

Specular reflection

정반사는 매끄러운 경계에서 입사 방향과 정해진 각도 관계를 유지하며 빛이 반사되는 현상이다.

설명

반사광의 세기와 은 표면 재료와 층 구조의 영향을 받는다. 표면이 같은 모양처럼 보여도 재료가 달라지면 신호가 달라질 수 있다.

편광

편광은 빛의 전기장이 진동하는 방향의 특성이다.

막두께 측정은 이런 반사 응답의 변화를 활용한다. 반사광이 약해졌다는 사실만으로 막이 얇아졌다고 단정하지 말고 흡수와 표면 상태도 살핀다.

정반사 신호에는 두께뿐 아니라 재료와 표면 정보가 섞인다.

편광은 빛의 전기장이 진동하는 방향의 특성이다.

결함 리뷰는 검사에서 찾은 좌표를 다시 관찰해 결함의 모양과 종류를 자세히 확인하는 작업이다.

측정량은 측정을 통해 값을 알고자 하는 양으로, 대상과 필요한 조건까지 포함해 정의한다.