설명
이상치를 자동 삭제하면 장비 고장이나 새로운 신호를 놓칠 수 있으므로 원인을 조사한 뒤 처리해야 한다.
패턴·막·전기특성 등에서 정상 기대상태와 달라 제품 성능이나 수율에 악영향을 줄 수 있는 이상.
용어 상세 ↗예시
한 의 수 한 점만 매우 높다면 측정 오차, 장비 이력, real 가능성을 각각 확인한다.
관련 용어: / / 공정 이상 이탈
생산·추적·공정 관리를 위해 하나의 단위로 묶어 취급하는 웨이퍼 묶음.
용어 상세 ↗공기·액체·표면에 존재하는 미세 고형 또는 액상 입자. 미세공정에서는 작은 입자도 패턴을 막거나 결함을 만들 수 있다.
용어 상세 ↗평소의 정상 공정 상태나 허용된 공정 윈도우에서 벗어나 제품 위험을 만들 수 있는 비정상적인 공정 사건.
용어 상세 ↗연속형 데이터를 여러 구간으로 나누고 각 구간에 들어간 값의 개수를 막대로 표시해 분포 모양을 보는 그래프.
용어 상세 ↗문제를 직접 유발하거나 재발을 가능하게 한 가장 근본적인 원인으로, 제거·통제하면 같은 문제의 반복 가능성을 낮출 수 있는 원인.
용어 상세 ↗구분
이상치는 '틀린 데이터'와 동의어가 아니며 실제 중요한 엔지니어링 신호일 수 있다.