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시계열

Time series

팩별 설명

시계열은 시간 순서에 따라 기록된 데이터의 집합이다.

설명

에서는 공정 구간별 신호 변화 모양과 지속 시간을 보는 데 사용될 수 있다. 수집 간격과 시간 정렬이 중요하다.

FDC

FDC는 설비·공정 신호를 이용해 이상을 탐지하고, 구현에 따라 이상 유형을 분류하는 기능이다.

짧은 순간의 이상이 평균값 안에 묻힐 수 있으므로 원래 시계열과 요약값의 역할을 나눈다.

한 개 평균이 전체 시간 패턴을 대신하지는 않는다.

FDC는 설비·공정 신호를 이용해 이상을 탐지하고, 구현에 따라 이상 유형을 분류하는 기능이다.

lot은 정해진 생산·추적 규칙에 따라 함께 관리하는 제조 대상의 묶음이다.

wafer는 반도체 소자 제조에 사용되는 얇은 기판으로, lot 내부에서도 개별 추적 대상이 될 수 있다.