가상 계측
Virtual metrology
VM
가상 계측은 설비 신호와 이력 등으로 실제 계측 결과를 예측하는 모델 기반 추정이다.
설명
직접 측정하지 않은 대상의 상태를 빠르게 추정하는 데 도움이 된다. 추정값은 실측값과 구분하고 주기적 실측 비교와 적용 범위 감시가 필요하다.
예시
모델이 학습하지 않은 새 레시피에서는 예측이 잘 맞지 않을 수 있다. 높은 예측 신뢰 표시만으로 실제 계측을 영구히 대체하지 않는다.
구분
가상 계측은 실측을 보완하는 예측이며 같은 종류의 증거는 아니다.