계통 오차
Systematic measurement error
계통 오차는 반복 측정에서 일정하거나 예측 가능한 방식으로 변하는 측정오차 성분이다.
설명
길이 눈금의 배율이 잘못되면 큰 구조에서 차이가 더 커질 수 있다. 모든 계통 오차가 단순한 고정 오프셋은 아니다.
예시
20 nm에서는 차이가 작고 100 nm에서는 차이가 크다면 한 값만 빼는 보정으로 해결되지 않을 수 있다. 측정 범위 전반의 관계를 확인한다.
구분
계통 오차에는 고정 차이와 크기에 따라 달라지는 차이가 모두 있다.