웨이퍼 보우·전체 휨
Wafer Bow
자유 상태 의 중앙 기준면이 기준 평면에서 벗어나 전체적으로 휘어진 정도를 나타내는 웨이퍼 형상 특성.
설명
보우가 크면 chucking, 리소그래피 포커스, 본딩, 취급에 영향을 줄 수 있어 형상 대상이 된다.
예시
막 응력이 누적되어 전체가 접시처럼 휘면 bow가 증가할 수 있다.
구분
bow는 전체 곡률 성분이고 휨은 전체 면 형상의 더 복합적인 비평탄성을 나타내는 별도 형상 지표다.
Wafer Bow
자유 상태 의 중앙 기준면이 기준 평면에서 벗어나 전체적으로 휘어진 정도를 나타내는 웨이퍼 형상 특성.
보우가 크면 chucking, 리소그래피 포커스, 본딩, 취급에 영향을 줄 수 있어 형상 대상이 된다.
막 응력이 누적되어 전체가 접시처럼 휘면 bow가 증가할 수 있다.
bow는 전체 곡률 성분이고 휨은 전체 면 형상의 더 복합적인 비평탄성을 나타내는 별도 형상 지표다.