용어검색 · 솔샘

문턱전압

Threshold voltage

문턱전압은 정해진 측정 기준에서 MOSFET 채널이 본격적으로 전류를 전달하기 시작하는 게이트 전압을 나타낸 값이다.

누설전류

Transistor Leakage Current

트랜지스터가 이상적으로 off여야 하는 조건에서도 흐르는 원하지 않는 작은 전류.

FinFET

Fin Field-Effect Transistor

FinFET은 지느러미처럼 세운 반도체 채널의 여러 면을 게이트가 둘러싸 제어하는 트랜지스터 구조이다.

게이트올어라운드 트랜지스터

Gate-All-Around Transistor

게이트가 나노시트나 나노리본 형태의 채널을 사방에서 둘러싸 채널을 더 정밀하게 제어하는 트랜지스터 구조.

트랜지스터 집적도

Transistor Density

일정한 칩 면적 안에 얼마나 많은 트랜지스터를 집적할 수 있는지를 나타내는 밀도 개념.

계측

Semiconductor Metrology

공정 결과의 치수, 두께, 중첩 정렬 오차, 형상, 재료 특성 같은 값을 정량적으로 측정하는 활동과 기술.

검사·결함검사

Semiconductor Inspection

웨이퍼, 레티클, 표면을 넓게 스캔해 입자, 긁힘, 패턴 결함, 전기적 결함 등 이상 위치를 찾아내는 공정-제어 활동.

CD 주사전자현미경

Critical Dimension Scanning Electron Microscope

전자빔으로 미세 패턴을 이미징하고 선폭, 간격, 홀 같은 핵심 치수를 측정하는 SEM 기반 계측 장비.

오버레이 계측

Overlay metrology

오버레이 계측은 서로 다른 패턴층 사이의 상대 위치 차이를 측정하는 방법이다.

박막 두께

Thin-Film Thickness

증착·산화 등으로 형성된 박막이 웨이퍼 위에서 얼마나 두꺼운지를 나타내는 핵심 측정값.

타원편광법

Spectroscopic Ellipsometry

빛이 박막에서 반사된 뒤 편광 상태가 어떻게 변했는지를 측정해 박막 두께와 광학 특성을 추정하는 비파괴 광학 계측 방법.

결함검사

Defect Inspection

웨이퍼에서 정상 패턴과 다른 입자, 잔류물, 긁힘, bridge, 빈 공간 등의 결함 후보를 찾아 위치와 크기를 기록하는 검사.

전자빔 결함검사

Electron-Beam Defect Inspection

전자빔을 이용해 매우 작은 물리적/전기적 결함을 높은 감도로 찾아내는 웨이퍼 검사 방식.

웨이퍼 검사

Wafer Defect Inspection

패턴이 있는 또는 무패턴 웨이퍼를 광학·전자빔 등으로 스캔해 결함과 표면 이상 징후를 찾는 검사 활동.

샘플링

Metrology / Inspection Sampling

모든 웨이퍼와 모든 위치를 측정하는 대신 공정 상태를 대표하도록 일부 웨이퍼·위치·형상 요소를 선택해 측정하는 전략.

공정능력

Process Capability

통계적으로 안정된 공정의 자연 변동이 제품 규격 범위 안에 얼마나 잘 들어가는지를 평가하는 개념.

Cp

Process capability index Cp

Cp는 규격 폭을 공정의 대표적인 변동 폭인 6σ로 나누어 비교하는 공정능력 지수이다.

Cpk

Process capability index Cpk

Cpk는 공정 평균에서 더 가까운 규격한계까지의 거리를 3σ로 나누어 평균의 치우침까지 반영하는 공정능력 지수이다.

균일도

Process Uniformity

동일 공정 결과가 공간이나 시료 사이에서 얼마나 일정한지를 나타내는 개념. 두께, CD, CMP 제거율 등 다양한 파라미터에 적용한다.

웨이퍼 내 균일도

Within-Wafer Uniformity

한 장의 웨이퍼 안에서 center, middle, 가장자리 등 서로 다른 위치의 공정 결과가 얼마나 일정한지를 나타내는 균일도.

웨이퍼 간 변동

Wafer-to-Wafer Variation

같은 공정 조건으로 처리한 여러 웨이퍼 사이에서 두께, CD, 저항 같은 결과가 얼마나 달라지는지를 나타내는 변동.

측정 반복성

Measurement repeatability

측정 반복성은 같은 대상과 같은 조건으로 반복 측정했을 때 결과가 얼마나 일치하는지를 나타내는 특성이다.

재현성

Measurement Reproducibility

측정 장비, 작업자, lab 또는 시간 등 정의된 조건이 달라져도 측정 result가 얼마나 일치하는지를 보는 측정시스템 특성.

신뢰성

Product / Device Reliability

정해진 사용 조건과 기간 동안 제품·소자·장비가 요구 기능을 고장 없이 수행할 가능성과 그 성능을 평가하는 개념.