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APC

Advanced Process Control

팩별 설명

APC는 측정 결과와 공정 모델 등을 이용해 이후 실행 조건을 조정하는 공정 제어 접근이다.

설명

런투런 제어는 이전 결과를 다음 ·로트 조건에 반영하는 대표적 방식이다. 이상을 감시하는 와 실제 조건을 바꾸는 제어 역할을 구분한다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

FDC

FDC는 장비 신호를 이용해 이상을 검출하고 유형을 구분하는 접근이다.

센서 이상을 실제 공정 변화로 오해해 자동 보정하면 정상 조건을 흔들 수 있다. 입력 데이터 적합성과 보정 범위의 관리가 필요하다.

자동 제어는 좋은 측정과 검증된 조정 범위 위에서 작동해야 한다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

FDC는 장비 신호를 이용해 이상을 검출하고 유형을 구분하는 접근이다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.