레시피
Process recipe
레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.
설명
가스 주입, 안정화, 반응, 배출 같은 단계가 순서대로 연결된다. 같은 이름의 레시피라도 버전이나 적용 챔버가 다르면 실제 실행 내용이 달라질 수 있다.
예시
교육용 막 증착에서 반응 시간만 맞고 안정화 단계가 빠지면 시작 조건이 달라진다. 실제 레시피의 변경은 승인과 적용 범위 확인이 필요하다.
구분
레시피는 숫자 목록이 아니라 순서와 적용 대상을 가진 실행 조건이다.