설명
한 장의 웨이퍼에 여러 가 배치되므로 웨이퍼 한 장의 처리 완료와 모든 다이의 양품 판정은 다르다. 가장자리와 중앙의 공정 결과도 다를 수 있다.
다이는 웨이퍼 위에 반복 형성되는 개별 칩 단위다.
용어 상세 ↗예시
웨이퍼 이송은 정상이지만 가장자리 막 두께가 벗어나면 일부 에 문제가 생길 수 있다. 장수만 세면 이런 공간적 차이를 놓친다.
다이는 웨이퍼 위에 반복 형성되는 개별 칩 단위다.
용어 상세 ↗구분
장비의 처리 단위와 품질의 평가 단위를 구분한다.