고급 공정 제어
Advanced process control
APCrun-to-run
고급 공정 제어는 공정·계측·모델 정보를 이용해 결과 변동을 줄이도록 입력을 관리하는 접근이다.
설명
이 회차의 APC는 고급 공정 제어를 뜻하며 압력 제어기의 약어와 구분한다. 공정 종료 후 계측으로 다음 실행을 보정하는 run-to-run 제어는 그 구현 방식 중 하나다.
예시
막 두께 편차에 따라 다음 처리시간을 보정할 수 있지만, 막질·결함이 시간과 별개로 변하면 두께 보정만으로 해결되지 않는다.
구분
자동 보정의 목표와 관측하지 않는 품질 특성을 구분한다.