Run-to-Run 제어
Run-to-Run (R2R) Control
Run-to-Run Control런투런 제어
한 번의 공정 실행 결과 또는 선행 데이터를 이용해 다음 공정 실행의 조건을 보정하는 반복형 방식.
설명
간 또는 간 변동과 장기 드리프트를 줄이기 위한 피드백·선행 보정 개념과 연결해 이해한다.
예시
이전 의 막 두께 측정 결과가 목표보다 높으면 다음 공정 실행의 관련 파라미터를 보정할 수 있다. 관련 용어: /
구분
은 한 번의 공정 실행 안에서만 실시간으로 제어한다는 뜻이 아니라, 이전 실행 결과를 다음 실행의 보정에 반영하는 개념을 강조한다.