이방성 식각
Anisotropic etching
이방성 은 방향에 따라 제거 속도가 달라지는 식각이다.
설명
수직 패턴을 만들 때는 아래 방향 제거를 옆 방향보다 강하게 하려는 경우가 많다. 의 방향성 있는 이온과 가 이를 돕지만 결정면별 습식 반응으로도 방향 차이가 생긴다.
예시
이방성이라는 말이 언제나 완벽한 수직 측벽을 뜻하지는 않는다. 원하는 각도와 바닥·측벽 형상을 실제 단면에서 확인해야 한다.
구분
방향 차이의 원리와 최종 측벽 형상을 구분한다.