측벽 보호
Sidewall passivation
측벽 보호는 중 옆면에 덜 제거되는 층을 형성하거나 유지해 옆 방향 침식을 억제하는 작용이다.
설명
바닥은 이온에 의해 보호층이 제거되거나 반응이 촉진되고, 이온이 적게 닿는 측벽은 보호될 수 있다. 보호가 과하면 입구가 좁아지거나 잔사가 늘 수 있다.
예시
측벽이 옆으로 크게 깎이면 보호 부족을, 구멍이 막히거나 좁아지면 과도한 보호 등 여러 원인을 검토한다. 단면의 변화와 반응 조건을 함께 본다.
구분
아래 제거와 옆 보호가 맞아야 목표한 구멍과 선을 얻는다.