등방성 식각
Isotropic etching
등방성 은 여러 방향의 제거 속도가 대체로 비슷하게 나타나는 식각이다.
설명
마스크 아래의 옆 방향으로도 재료가 제거되어 언더컷이 생길 수 있다. 특정 구조의 제거에는 유용하지만 좁은 수직선을 그대로 남기기에는 불리할 수 있다.
예시
위쪽 개구부보다 아래 제거 영역이 옆으로 넓어졌다면 방향성 부족을 살펴본다. 제거 깊이가 맞더라도 옆으로 얼마나 파고들었는지가 중요하다.
구분
등방성은 속도의 크기가 아니라 제거 방향의 관계를 말한다.