화면을 준비하고 있습니다.

배치식

Batch processing

팩별 설명

배치식은 여러 장의 를 한 묶음으로 함께 처리하는 방식이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

설명

은 개별 제어에, 배치식은 묶음 처리에 장점이 있지만 실제 생산성은 공정 시간·적재량·대기·품질 조건에 달려 있다.

매엽식

매엽식은 한 처리 공간에서 웨이퍼를 한 장씩 처리하는 방식이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

가상 배치 장비가 100장을 한꺼번에 처리해도 적재를 기다리는 시간이 길면 소량 로트의 완료는 늦어질 수 있다. 장수만으로 방식의 우열을 정하지 않는다.

처리 단위와 소량 대응성, 균일도와 대기시간을 함께 비교한다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

매엽식은 한 처리 공간에서 웨이퍼를 한 장씩 처리하는 방식이다.

반도체 공정 장비는 웨이퍼에 재료를 더하거나 제거하고 성질을 바꾸도록 정해진 환경과 동작을 만드는 시스템이다.