반도체 공정 장비
Semiconductor process equipment
반도체 공정 장비는 에 재료를 더하거나 제거하고 성질을 바꾸도록 정해진 환경과 동작을 만드는 시스템이다.
설명
챔버, 가스 공급, 온도 제어, 이송부와 제어 소프트웨어가 함께 일한다. 같은 이름의 공정도 재료와 목표 구조에 따라 다른 장비 구성이 필요하다.
예시
증착 장비의 목적은 단순히 가스를 흘리는 것이 아니라 요구한 두께와 성질의 막을 만드는 것이다. 이 과정의 설비명·운영값·사례는 교육용 가정이다.
구분
장비를 이해할 때는 부품 이름보다 만들려는 공정 결과를 먼저 묻는다.