정전용량 압력계
Capacitance manometer
정전용량식 압력계캐패시턴스 마노미터
정전용량 압력계는 압력에 따른 다이어프램 변형을 정전용량 변화로 읽는 압력 센서다.
설명
직접 압력을 읽는 방식이므로 열전도 방식보다 가스 조성 의존성이 작다. 그러나 오염·온도·영점·정격 범위가 측정 신뢰도에 영향을 주므로 무조건 정확한 기준기로 볼 수 없다.
예시
새 압력계와 기존 압력계가 다르면 교정 상태와 설치 위치를 먼저 맞춘다. 가열형 센서의 온도 안정이 끝나지 않은 값을 정상 운전값과 비교하지 않는다.
구분
가스 독립성은 모든 오차가 없다는 뜻이 아니다.