열전도 진공계
Thermal-conductivity vacuum gauge
피라니피라니 게이지
열전도 진공계는 기체를 통한 열손실이 압력에 따라 달라지는 성질을 이용하는 센서다.
설명
대표적인 피라니 게이지는 가스 종류에 따라 응답이 달라질 수 있다. 특정 가스 기준으로 교정된 값은 다른 가스에서 보정이나 적합한 계측이 필요하다.
예시
가스가 바뀐 뒤 피라니값만 달라지고 독립 직접 압력값은 같다면 조성 의존성을 먼저 고려한다. 실제 압력 변화 가능성도 함께 확인한다.
구분
게이지 원리와 교정 가스를 모르면 압력 숫자의 의미를 잘못 읽는다.