버퍼

Carrier / Equipment Buffer

Buffer

바로 처리하지 않는 캐리어나 를 짧게 대기시키는 임시 저장 위치. 장비 내부 또는 물류 흐름 중간에 둘 수 있다.

웨이퍼

여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.

설명

공정 능력 차이나 순간적인 대기 때문에 흐름이 끊기지 않도록 하는 완충 공간으로 이해한다.

장비가 한 을 처리하는 동안 다음 캐리어가 버퍼에서 대기할 수 있다. 관련 용어: / /

FOUP

300 mm 웨이퍼를 오염으로부터 보호하면서 저장·운반하는 전면 개방형 캐리어. 자동물류 시스템과 장비 사이에서 웨이퍼 로트를 담는 대표 용기다.

자동 캐리어 저장장치

FOUP 같은 캐리어를 자동으로 보관하고 필요할 때 AMHS에 다시 인계하는 팹 물류 저장 설비.

재공·공정 중 재고

팹에 투입되어 아직 최종 공정을 마치지 않은 웨이퍼·웨이퍼 로트 등 공정 중인 재고.

장비 로드 포트

FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 공정/계측 장비에 올려놓고 장비와 캐리어를 인계하는 표준화된 물리적 접점.

버퍼는 임시 대기 공간이고 는 더 체계적인 자동 저장·보관 시스템이다.

자동 캐리어 저장장치

FOUP 같은 캐리어를 자동으로 보관하고 필요할 때 AMHS에 다시 인계하는 팹 물류 저장 설비.

여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.

300 mm 웨이퍼를 오염으로부터 보호하면서 저장·운반하는 전면 개방형 캐리어. 자동물류 시스템과 장비 사이에서 웨이퍼 로트를 담는 대표 용기다.

FOUP 같은 캐리어를 자동으로 보관하고 필요할 때 AMHS에 다시 인계하는 팹 물류 저장 설비.