자동 캐리어 저장장치

팹에 투입되어 아직 최종 공정을 마치지 않은 웨이퍼·웨이퍼 로트 등 공정 중인 재고.

300 mm 웨이퍼를 오염으로부터 보호하면서 저장·운반하는 전면 개방형 캐리어. 자동물류 시스템과 장비 사이에서 웨이퍼 로트를 담는 대표 용기다.

팹 천장 레일을 따라 이동하며 FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 장비나 자동 캐리어 저장장치 사이로 자동 운반하는 물류 장치.

FOUP 등 웨이퍼 캐리어를 팹 내부에서 자동으로 저장·이동·인계하도록 구성한 물류 시스템 전체.

바로 처리하지 않는 캐리어나 웨이퍼를 짧게 대기시키는 임시 저장 위치. 장비 내부 또는 물류 흐름 중간에 둘 수 있다.

바로 처리하지 않는 캐리어나 웨이퍼를 짧게 대기시키는 임시 저장 위치. 장비 내부 또는 물류 흐름 중간에 둘 수 있다.