장비 로드 포트
Tool Load Port
Load Port
같은 캐리어를 공정/ 장비에 올려놓고 장비와 캐리어를 인계하는 표준화된 물리적 접점.
설명
장비 자동화에서는 장비 로드 포트가 '공장 물류와 장비 내부 취급이 만나는 경계'라는 점이 중요하다.
예시
가 을 장비 로드 포트에 내려놓으면 장비가 캐리어를 인식하고 처리를 준비한다. 관련 용어: 풉·웨이퍼 운반용 밀폐 캐리어 / 천장식 자동 운반차
구분
장비 로드 포트는 캐리어 인계 위치이고 로드록은 장비 내부 압력 전이를 위한 챔버 개념이다.