세정 선택성
Cleaning selectivity
세정 선택성은 오염을 제거하면서 필요한 막과 구조의 변화를 제한하는 성능이다.
설명
오염 종류·표면 재료·전하·반응 조건에 따라 적합한 제거 경로가 달라진다. 입자를 잘 없애는 조건이 금속 손실이나 표면 거칠기를 키울 수 있다.
예시
제거율만 비교하지 않고 막 손실·표면 상태·전기적 특성을 함께 평가한다. 화학물의 혼합·농도·취급은 승인 절차 영역이며 이 학습팩은 조작 레시피를 제공하지 않는다.
구분
제거 성능은 보존해야 할 재료 조건과 함께 정의한다.