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공반응물

Co-reactant

공반응물은 와 함께 반응해 목표 막의 형성을 돕는 다른 반응 물질입니다.

전구체

전구체는 후속 반응을 거쳐 목표 물질을 형성하는 출발 원료입니다.

설명

산화물·질화물 등 목표 조성에 맞춰 역할이 달라집니다. 단순 운반용 기체와 구분해야 합니다.

가 금속 원소를 공급하고 공반응물이 산소를 공급하는 식의 역할 분담이 가능합니다.

전구체

전구체는 후속 반응을 거쳐 목표 물질을 형성하는 출발 원료입니다.

기체마다 막에 참여하는지 운반만 돕는지 구분합니다.

전구체는 후속 반응을 거쳐 목표 물질을 형성하는 출발 원료입니다.

기판은 소자나 막을 형성할 때 그 구조를 받치고 형성의 바탕이 되는 재료입니다.

공정 적합성은 재료가 투입될 공정 조건과 이웃 재료를 함께 고려했을 때 목적을 수행할 수 있는 성질입니다.