화면을 준비하고 있습니다.

열적 안정성

Thermal stability of a precursor

의 열적 안정성은 공급과 공정에서 받는 열에 의해 원치 않게 분해되는 것을 견디는 성질입니다.

전구체

전구체는 후속 반응을 거쳐 목표 물질을 형성하는 출발 원료입니다.

설명

반응할 때는 반응성이 필요하지만 저장·이송 중에는 원하지 않는 변화가 적어야 합니다. 두 요구는 같은 뜻이 아닙니다.

배관에서 먼저 분해되면 의도한 표면에 도달하는 양이 달라지고 잔사나 입자의 원인이 될 수 있습니다.

원하는 곳에서 반응하고 그전에는 안정적인 원료가 필요합니다.

전구체는 후속 반응을 거쳐 목표 물질을 형성하는 출발 원료입니다.

기판은 소자나 막을 형성할 때 그 구조를 받치고 형성의 바탕이 되는 재료입니다.

공정 적합성은 재료가 투입될 공정 조건과 이웃 재료를 함께 고려했을 때 목적을 수행할 수 있는 성질입니다.