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공통 원인 변동

Common-cause variation

팩별 설명

공통 원인 변동은 정한 공정 시스템에 지속적으로 포함되어 나타나는 평소의 변동이다.

설명

작은 변동마다 개별 원인을 붙여 조절하면 오히려 변동을 키울 수 있다. 감소시키려면 설비·재료·방법 등 시스템 개선이 필요하다.

정상 범위의 위아래 움직임마다 레시피를 반대로 보정하면 이 될 수 있다.

과잉 조절

과잉 조절은 정상 잡음이나 잘못 해석한 변화에 지나치게 반응하여 오히려 변동을 키우는 상태다.

평소 변동과 특수한 변화를 구분한 뒤 행동한다.

과잉 조절은 정상 잡음이나 잘못 해석한 변화에 지나치게 반응하여 오히려 변동을 키우는 상태다.

열산화는 높은 온도에서 산화제가 실리콘과 반응하여 산화막을 성장시키는 공정이다.

Deal–Grove 모델은 평탄한 실리콘의 열산화 성장을 계면 반응과 산화막 내부 확산으로 근사하는 모델이다.