고장정비(CM)

Corrective Maintenance

Corrective Maintenance (CM)사후정비·고장복구CM

팩별 설명

예상치 못한 고장이나 비정상 상태가 발생한 뒤 문제 해결과 수리를 수행해 장비를 다시 의도한 기능을 수행할 수 있는 상태로 복구하는 정비.

설명

CM이 많으면 unscheduled 다운타임이 증가하므로 ·조건 모니터링으로 반복 고장을 줄이는 것이 중요하다.

고장이 발생하기 전에 정기적인 점검, 장비 세정, 부품 교체, 교정 등을 계획적으로 수행해 장비 신뢰성과 공정 안정성을 유지하는 정비.

펌프 고장으로 장비가 down되면 원인을 진단하고 고장 부품을 교체한 뒤 생산-ready 상태로 복구한다. 관련 용어: / / 문제 해결 /

진공

대기압보다 낮은 압력 상태. 증착·식각·이온주입 등 많은 반도체 장비에서 공정 환경을 만들거나 물질 이동을 제어하는 데 사용된다.

고장이 발생하기 전에 정기적인 점검, 장비 세정, 부품 교체, 교정 등을 계획적으로 수행해 장비 신뢰성과 공정 안정성을 유지하는 정비.

다운타임·비가동시간

장비가 고장, 정비 또는 기타 이유로 정상적인 생산 목적에 사용할 수 없는 시간.

평균수리시간

고장이 발생한 장비를 수리해 다시 사용할 수 있는 상태로 복구하는 데 걸리는 평균시간을 나타내는 유지보수성 지표.

CM은 고장 이후 복구이고 은 고장 이전 계획 정비다.

고장이 발생하기 전에 정기적인 점검, 장비 세정, 부품 교체, 교정 등을 계획적으로 수행해 장비 신뢰성과 공정 안정성을 유지하는 정비.

고장이 발생하기 전에 정기적인 점검, 장비 세정, 부품 교체, 교정 등을 계획적으로 수행해 장비 신뢰성과 공정 안정성을 유지하는 정비.

대기압보다 낮은 압력 상태. 증착·식각·이온주입 등 많은 반도체 장비에서 공정 환경을 만들거나 물질 이동을 제어하는 데 사용된다.