변경점

패턴·막·전기특성 등에서 정상 기대상태와 달라 제품 성능이나 수율에 악영향을 줄 수 있는 이상.

시간·웨이퍼 로트·웨이퍼 순서에 따라 측정이 지속적으로 증가·감소하거나 특정 방향으로 변하는 패턴.

고장이 발생하기 전에 정기적인 점검, 장비 세정, 부품 교체, 교정 등을 계획적으로 수행해 장비 신뢰성과 공정 안정성을 유지하는 정비.

문제를 직접 유발하거나 재발을 가능하게 한 가장 근본적인 원인으로, 제거·통제하면 같은 문제의 반복 가능성을 낮출 수 있는 원인.

장비 설정, 공정 레시피, 설정값, 방법 등 영구적 변경을 적용하기 전에 목적·위험·영향을 검토하고 승인·문서화·검증하는 관리 절차.