예방정비(PM)
Preventive Maintenance
Preventive Maintenance (PM)예방정비PM
고장이 발생하기 전에 정기적인 점검, 장비 세정, 부품 교체, 등을 계획적으로 수행해 장비 과 공정 안정성을 유지하는 정비.
측정기나 측정시스템이 나타내는 값과 알려진 기준 표준 값 사이의 관계를 정해 측정 편향과 추적성을 관리하는 활동.
용어 상세 ↗정해진 사용 조건과 기간 동안 제품·소자·장비가 요구 기능을 고장 없이 수행할 가능성과 그 성능을 평가하는 개념.
용어 상세 ↗설명
PM 주기와 품질은 장비 업타임뿐 아니라 , 드리프트, 에도 영향을 줄 수 있다.
공기·액체·표면에 존재하는 미세 고형 또는 액상 입자. 미세공정에서는 작은 입자도 패턴을 막거나 결함을 만들 수 있다.
용어 상세 ↗투입·제조된 제품 가운데 요구 기준을 만족하는 양품이 차지하는 비율. 웨이퍼 문맥에서는 생산 가능한 다이 중 정상 칩의 비율로 설명된다.
용어 상세 ↗예시
예상 수명에 도달하기 전에 consumable을 교체하고 센서 을 수행해 sudden 고장 위험을 줄인다.
관련 용어: / / / 교정
측정기나 측정시스템이 나타내는 값과 알려진 기준 표준 값 사이의 관계를 정해 측정 편향과 추적성을 관리하는 활동.
용어 상세 ↗예상치 못한 고장이나 비정상 상태가 발생한 뒤 문제 해결과 수리를 수행해 장비를 다시 의도한 기능을 수행할 수 있는 상태로 복구하는 정비.
용어 상세 ↗수리 가능한 장비에서 한 고장과 다음 고장 사이의 평균 운전시간을 나타내는 신뢰성 지표.
용어 상세 ↗고장이 발생한 장비를 수리해 다시 사용할 수 있는 상태로 복구하는 데 걸리는 평균시간을 나타내는 유지보수성 지표.
용어 상세 ↗구분
PM은 계획된 예방 활동이고 은 고장이 발생한 뒤 정상 상태로 복구하는 정비다.
예상치 못한 고장이나 비정상 상태가 발생한 뒤 문제 해결과 수리를 수행해 장비를 다시 의도한 기능을 수행할 수 있는 상태로 복구하는 정비.
용어 상세 ↗