상관관계

Correlation

두 변수의 값이 함께 변하는 정도와 방향을 나타내는 통계적 관계. 양의·음의 상관과 그 강도를 산점도나 상관계수로 확인할 수 있다.

설명

팹 데이터에서 상관관계는 근본 원인 가설을 좁히는 데 유용하지만 그 자체가 인과관계를 증명하지는 않는다.

챔버 압력이 높을수록 가 커지는 scatter 이 보이면 상관관계를 추가 분석한다. 관련 용어: /

식각

포토레지스트나 하드마스크로 보호되지 않은 영역의 재료를 선택적으로 제거해 웨이퍼에 실제 3차원 패턴을 만드는 공정.

반도체 패턴에서 성능과 공정 허용오차에 중요해 관리되는 선폭·간격 같은 핵심 치수.

패턴

회로 설계가 웨이퍼 위에 선·공간·구조 형태로 구현된 미세 형상.

실험계획법

여러 요인을 계획적으로 변화시키고 반응을 측정해 어떤 요인과 상호작용이 결과에 영향을 주는지 효율적으로 판단하는 통계적 실험 설계 방법.

근본원인

문제를 직접 유발하거나 재발을 가능하게 한 가장 근본적인 원인으로, 제거·통제하면 같은 문제의 반복 가능성을 낮출 수 있는 원인.

상관관계는 연관성이고 인과관계는 원인-결과 관계이므로 나 원리 검증이 추가로 필요하다.

실험계획법

여러 요인을 계획적으로 변화시키고 반응을 측정해 어떤 요인과 상호작용이 결과에 영향을 주는지 효율적으로 판단하는 통계적 실험 설계 방법.

포토레지스트나 하드마스크로 보호되지 않은 영역의 재료를 선택적으로 제거해 웨이퍼에 실제 3차원 패턴을 만드는 공정.

반도체 패턴에서 성능과 공정 허용오차에 중요해 관리되는 선폭·간격 같은 핵심 치수.

회로 설계가 웨이퍼 위에 선·공간·구조 형태로 구현된 미세 형상.