관심 결함
Defect of interest
DOI
관심 결함은 해당 공정과 제품에서 실제로 찾고 관리하려는 결함 종류이며 DOI라고 한다.
설명
모든 검출 후보가 같은 위험이나 우선순위를 갖지는 않는다. 관심 결함의 크기·형상·위치를 정의해야 검사 성능을 평가할 수 있다.
예시
회로를 끊는 결함과 기능에 영향이 적은 표면 변화를 같은 비중으로 세면 중요한 변화를 놓칠 수 있다. 정의된 관심 결함별로 결과를 나눈다.
구분
검사의 목표는 전체 건수보다 정의한 관심 결함을 놓치지 않는 것이다.